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物理气相沉积（PVD）
鹏城半导体 多功能磁控溅射仪

鹏城半导体 多功能磁控溅射仪

价格：电议
极限真空度：6X10-5Pa 恢复工作背景真空：7X10-4Pa，30 分钟左右（新设备充干燥氮气） 设备总体漏放率：关机 12 小时真空度≤10Pa
多功能磁控溅射仪（高真空磁控溅射仪）是用磁控溅射的方法 制备
鹏城半导体 高真空电子束蒸发镀膜机 真空度高、抽速快

鹏城半导体 高真空电子束蒸发镀膜机 真空度高、抽速快

价格：电议
极限真空：7×10-5Pa～7×10-6Pa 设备总体漏放率：关机12小时，≤10Pa 恢复工作真空时间短，大气至：7×10-4Pa≤30分钟
　　高真空电子束蒸发镀膜机（电子束蒸镀机）是在高真空条件下
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